5軸レーザ加工法による高精密の加工目指し
发布时间：
2019-04-24 09:17
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L.Y未来科技は積極的に新しい技術を勉強しながら、より低コスト、高精度の切削加工と金型の部品加工を目指します。
1. はじめに
近年、MEMS/NEMS(Micro/Nano Electro-Mechanical System) 製作に代表されるように、マイクロ～ナノメートルサイズの 材料加工技術が急速に進展しており、その手法も多岐に亘っている。なかでもレーザ直接加工法は様々な加工材料に対し、 任意の形状を比較的安価に形成できるという点で、他の手法に比べて大きな優位性を有している。本研究では、ナノ秒パルス レーザ(Nd:YAGレーザ第4高調波、Yb添加ファイバレーザ)とPC制御5軸ステージからなる高精度微細加工システムを開発し、 ポリイミドフィルム、ステンレス鋼管、ソーダライムガラスを対象として、マイクロ機能要素の製作を試みた。
2. 供試材料および実験装置
加工対象はポリイミドフィルム(フィルム厚：125μm)、ソーダライムガラス (板厚：1mm)、SUS304ステンレス鋼管(外径：550μm、内径300μm) である。ソーダライムガラスは加工前にイオン交換処理によりレーザ加工 特性の向上を図った。またステンレス鋼管は加工後に数十秒間の電解 エッチング処理を行った。加工に使用したレーザ発振器の仕様を表1に、 加工システムの構成を図1に示す。また図2に加工ステージの構成を示す。 (a)、(b)の配置によりそれぞれ、機械工作におけるフライス加工や旋盤 加工に類似した加工が可能となる。
3. マイクロ機能要素の製作例
図3から図6に本手法によるマイクロ機能要素の製作例を示す。
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